能源產品及廠家
硅片光刻預處理系統(tǒng)，芯片hmds烘箱用于芯片、晶圓、硅片等半導體在光刻前對wafer進行預處理,在高溫高真空的狀態(tài)下均勻噴灑霧狀“oap”藥液并在氮氣保護下烘干以增強wafer的光刻性能。通過對烤箱預處理過程的工作溫度、處理時間、處理時保持時間等參數可以在硅片、基片表面均勻涂布一層hmds，降低了hmds處理后的硅片接觸角，降低了光刻膠的用量，提高光刻膠與硅片的黏附性。
更新時間:2024-12-20
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