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parcannano百及納米工業(yè)型原子力顯微鏡，可集成大尺寸樣品位移臺、全自動光學導航系統(tǒng)和配套自動控制軟件，可對大尺寸樣品 進行全方位的光學成像定位，根據(jù)光學成像結果自動標定多個精確測量區(qū)域，并根據(jù)缺陷/待測結構的特點進行模式識別，智能選取原子力顯微鏡測量
更新時間:2024-12-20
parcannano 納米精準定位的單離子注入系統(tǒng) sii,基于新型掃描針尖精準定位的離子注入系統(tǒng)，實現(xiàn)有效控制注入半導體器件的雜質種類、數(shù)量和位置？捎糜诨陔婋x雜質誘導的量子點所構建的量子信息域，研制的設備可用于探索納米結構器件、量子比特系統(tǒng)和量子信息處理器電路的開發(fā)。
更新時間:2024-12-20
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