＊ 雙向氣流傳感＊ 實際氣體質(zhì)量流量傳感＊ 流速0~30sccm 到0~1000sccm＊ 需另加發(fā)熱器控制及傳感橋路供電電路
● 多個集中安裝/O 形密封圈● 陶瓷流量管（無引氣管），0-1000sccm● 塑料流量管（無引氣管），0-6SLPM● 高共模壓力（150psi）● 工作溫度可至125˚C● 零點和滿量程高穩(wěn)定性
● 各種流量接口可選● 文丘里管設(shè)計● 遠程安裝● 激光校整CO2，N2 氬氣的標(biāo)定
● 的微加工技術(shù)● 低氣流速度敏感-0.1sccm● 檢測流量200 升/ 分鐘● 快速響應(yīng)，低電流損耗，高反應(yīng)重復(fù)性● 激光刻蝕提供了器件的一致性● 低壓力精確測量（0.001-4”水柱）