格參數(shù): | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
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儀器標(biāo)準(zhǔn)配備及選購件(0.5X附加鏡,2X附加鏡,特殊配備0.5X鏡筒) | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
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技術(shù)參數(shù):
儀器參數(shù) | \\\\ | 儀器型號 | BROS-2010 | BROS-3020 | BROS-4030 |
測量范圍(MM) | X | 200 | 300 | 400 | |
Y | 100 | 200 | 300 | ||
Z | 120 | 120 | 120 | ||
工作臺(MM) | 硬鋁合金臺面 | 356×266 | 506×326 | 606×476 | |
玻璃臺面 | 260×160 | 360×260 | 460×360 | ||
承重 | 20kg | 20kg | 30kg | ||
影像及測量系統(tǒng) | CCD | 美國ezoom高分辨率彩色工業(yè)CCD 1/3英寸 480線 | |||
物鏡 | 0.7-4.5X連續(xù)變倍 | ||||
放大倍率 | 20-120X | ||||
工作距離 | 100 | ||||
顯示分辨率 | 0.001mm | ||||
線性精度(um) | E1=3+L/200 E2=3.5+L/150 (L為被測長度,單位為mm) | ||||
外形尺寸(mm) | 600×550×780 | 760×580×820 | 870×620×820 | ||
儀器重量 | 150kg | 215kg | 300kg | ||
照明 | LED表面光及輪廓光 | ||||
電源 | 220V±10%(AC) 50HZ |
技術(shù)規(guī)格參數(shù)
工 作 臺 | 金屬尺寸(mm) 700X450 玻璃臺尺寸(mm) 550X350 運(yùn)動行程(mm) 500X300 |
Z軸升降行程 | 200 | X 、Y、Z數(shù)顯戒心度:0.5μm |
工作距離 | 92mm | X 、Y坐標(biāo)示值誤差: ≤(3+L)μm(L為被測長度,單位:mm) |
影像系統(tǒng) | 攝像機(jī):SONY彩色1/2"CCD攝像機(jī) 雙焦鏡頭倍率:美國NAVITAR 0.7X~4.5X 視頻總倍率:23.5~148X 物方視場:11.1~1.7mm 表面光源與透射光源均用LED,亮度可調(diào) |
測量系統(tǒng) | VMS-F/ Ⅱ USB-302 M2D-AT 客戶自配電腦 |
電源 | 220V ± 10% 50/60Hz 總功率 50W (不包含電腦) |
壓縮空氣 | ≥ 0.5Mpa |
壓縮空氣流量 | 120L/min(.04MPa) |
工作環(huán)境 | 溫度(20 ± 2) ℃ 溫度 40%~70% |
儀器重量(kg) | 500 |
外形尺寸(mm) | 1600X800X1660 |
儀器配件 |
非接觸方式/Non-contact mode 高度測量/Masuring Height 三坐標(biāo)非接觸影像測量儀/3D Non-contact Image Measuring Instrument 3D測量軟件主界面/3D Measuring Software Main Icon | 本儀器所使用的影像測量技術(shù)、圖像處理技術(shù)、自動調(diào)焦技術(shù)、亞象素尋邊技術(shù)、測量分析軟件極大提高測量精度和測量效率。 ■儀器光學(xué)系統(tǒng)品質(zhì)優(yōu)良,物鏡成像清晰,倍率廣泛。 ■提供物體輪廓(透射)和表面(反射)同軸照明,保證物體影像清晰。 ■導(dǎo)軌、絲杠、光柵尺、電機(jī)等關(guān)鍵部件全部選用國外著名品牌,保證系統(tǒng)的高質(zhì)量和高可靠性。 ■自動識辨物體焦面位置和自動尋找物體亞象素邊界。 ■優(yōu)質(zhì)運(yùn)動控制器和圖像傳感器,保證高品質(zhì)圖像質(zhì)量和工作臺的低噪音平穩(wěn)運(yùn)動。 ■ ■平面定義與自動三維采點(diǎn)測量,按國標(biāo)GB11337-98的各種方法自動進(jìn)行平面度誤差檢測。 ■提供測量編程指令,具有自學(xué)習(xí)編程功能,自動批量快速測量,大大提高檢測效率。 ■人性化方便的運(yùn)動控制和多種方式的測量功能,編程和自學(xué)習(xí),成倍提高測量效率。 ■系統(tǒng)提供多達(dá)20個機(jī)械坐標(biāo)和工件坐標(biāo)。 ■無需轉(zhuǎn)臺,實(shí)時非接觸測量物體的高度、距離、角度等參數(shù)。 ■無需傾斜臺,對物體基準(zhǔn)面進(jìn)行數(shù)學(xué)找正,避免物理找正的煩瑣。 ■提供強(qiáng)大的數(shù)理統(tǒng)計分析和數(shù)據(jù)庫功能:統(tǒng)計參數(shù)計算,正態(tài)、歷史、直方圖、X2、T、F分布,X2、T、F檢驗(yàn),單因素方差分析和相關(guān)性檢驗(yàn)等。 ■輸出結(jié)果形式多樣,可被WORD,EXCELL,AUTOCAD等應(yīng)用軟件使用。 ■幾何形狀測量與構(gòu)造實(shí)時圖形的直觀顯示,利于測量檢查。 ■提供在線幫助功能,操作簡便,易學(xué)易用。 |
技術(shù)參數(shù)
工作臺行程 | 標(biāo)配:X=150mm, Y=150mm, Z=100mm |
選配:X: 100mm~400mm;Y: 100mm~200mm;Z: 100mm-150mm | |
光學(xué)尺分辨率 | 標(biāo)配:0.001mm閉式; 選配:0.0005mm閉式,0.0001mm開式 |
重復(fù)定位精度 | X,Y,Z: ≤0.0015mm |
重復(fù)調(diào)焦精度(倍率大于150X) | ≤0.0015mm |
系統(tǒng)不確定度 | 分辨率為0.001mm時:X,Y: (3.0+2×L/400)/1000 (mm),Z≤0.005mm |
分辨率為0.0005mm時:X,Y: (1.5+2×L/400)/1000 (mm),Z≤0.005mm | |
分辨率為0.0001mm時:X,Y: (0.5+2×L/400)/1000 (mm),Z≤0.005mm |
儀器配置
部件名稱 | 規(guī)格(標(biāo)配) | 選件 | 備注 |
CCD工業(yè)攝像頭 | 彩色CCD(1/2”) | 黑白CCD(1/2”) | 復(fù)合或標(biāo)準(zhǔn)視頻 |
工業(yè)顯微鏡 | 連續(xù)變倍:1:10 1.5X物鏡 (50~500X) | 連續(xù)變倍:0.7-4.5X; 工業(yè)內(nèi)照明高倍率長工作距顯微鏡,物鏡倍率:3X~100X | C-Mount接口 |
計算機(jī)系統(tǒng) | 商用PC,98/2000/XP | 工業(yè)控制機(jī),彩色噴墨打印機(jī) |
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測量控制軟件 | TDYMS V60CNC |
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| 花崗石00級 |
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照明光源 | 透 6V20W,反21V150W可調(diào)鹵素?zé)?/span> | 外接照明 |
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工作臺行程(測量范圍) | X:150mm,Y:150mm,Z:100mm | X:100-400mm,Y:100-200mm Z:100-200mm | Z軸帶有粗微調(diào)機(jī)構(gòu),以滿足不同高度工件的測量 |
驅(qū)動方式 | X、Y、Z:CNC電動 | JOG控制盒 |
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驅(qū)動電機(jī) | 三相步進(jìn)電機(jī) | 伺服電機(jī) |
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工件限重 | 10Kg |
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工件限高 | 120mm |
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儀器重量 | 100Kg |
| 不包括計算機(jī)系統(tǒng) |
MicroLine-300是一款桌上型半自動CD測量系統(tǒng)。主要技術(shù)參數(shù):◆ 測量范圍(XYZ):標(biāo)準(zhǔn):200×200×25mm;可選:300x300x25◆ 視場內(nèi)測量精度:10nm(100X 鏡頭);Z軸聚焦范圍:25 mm◆ 視場內(nèi)測量范圍:0.5um~400um;◆ 視場內(nèi)測量重復(fù)性(100x 物鏡): 晶圓上<0.010um(1δ); 掩模板上0.005um(1δ);
◆ 承重:2kg
◆ 標(biāo)配鏡頭10x,可選鏡頭:5X, 20X, 50X, 100X
MicroLine 300 is a table type semi-automatic CD measurement system .
The main technical parameters :
◆ X,Y,Z Measuring Range (mm): standard :200x200x25 optional : 300X300x25
◆ The field measurement accuracy :10nm (100X lens ) Z Foucsing Range (mm) : 25
◆ The field measurement range :0.5um~400um;
◆ The field measurement repeatability (100X lens):on wafer < 0 0.010m(1δ);
on mask plate 0.005um(1δ);
◆ Max Recommanded Load : 2kg
◆ Lens : standard :10X
optional :5X,20X,50X,100X。
1 | 型號 | VMS-1510 | VMS-2010 | VMS-3020 | VMS-4030 |
2 | 主機(jī)體尺寸 | 530*460*850mm | 600*490*850mm | 700*500*940mm | 1000*600*1000 |
3 | 花崗石平臺尺寸 | 300*250mm | 350*250mm | 450*350mm | 550*450 |
4 | 玻璃臺尺寸 | 200*160mm | 220*160mm | 320*240mm | 450*350 |
5 | 重量 | 90KG | 150KG | 200KG | 220KG |
6 | 機(jī)臺底坐 | 高精度花崗石底座及立柱 | |||
7 | 線性精度 | (3.0+L/75)μm | |||
8 | 表面照明 | LED環(huán)形超亮冷光源(亮度可調(diào)) | |||
9 | 輪廓照明 | LED超亮圓形燈(亮度可調(diào)) | |||
10 | 計算測量功能 | REICA 2.5D精密測量系統(tǒng)軟件 | |||
11 | 解析力 | 0.001mm | |||
12 | 重復(fù)精度 | 0.002mm | |||
13 | CCD | SONY芯片1/3彩色CCD/臺灣1/2攝像裝置 | |||
14 | 目鏡 | 0.5X(可選配1X,2x) | |||
15 | 物鏡 | 0.7X~4.5X 放大倍數(shù)20X~120X | |||
16 | 載重 | 20\30\50KG |