1.由于將X軸、Z軸加以數(shù)字化,所以不必完全仰賴于測定倍率的大小,即可做到大范圍的高分解能測定。
2.與計算機連接并加上計算機解析軟件「Formpak-1000」,即可做出各式各樣的測定與分析。
3.若不連接計算機,亦可連接XY繪圖機,并可在繪圖機專用的數(shù)據(jù)處理機上先行確認(rèn)圖形或量測方式是否正確。產(chǎn)品參數(shù)
測量范圍 | 50mm(CV-1000)或100mm(CV-2000) | ||
分辨率 | 0.2μm | ||
測量方法 | 反射型光柵尺 | ||
驅(qū)動速度 | 0.2mm/s\\\\\\\\1mm/a和手動 | ||
測量速度 | 0.02-5mm/s | ||
測量方向 | /向后 | ||
直線度 | 3.5μm /50mm 1.5μm/mm(當(dāng)X軸在水平方向上 | ||
指示精度 (20℃) | ±(3.5+2L/100)μm L為驅(qū)動長度(mm) | ||
傾斜范圍 | ±45°(CV-2000) | ||
Z1軸 | 測量范圍 | 25mm(CV-100)或40mm(CV-2000) | |
分辨率 | 0.4μm(CV-1000系列) 0.5μm(CV-2000系列) | ||
測量方法 | 弧形編碼器 | ||
指示精度 (20℃) | ±(3.5+14H/25)μm) H為水平位置上的測量高度(mm) | ||
探針上下運作 | 弧形運動 | ||
探針方向 | 向下 | ||
測力 | 10-30mN | ||
跟蹤角度 | 向上 | 77° | |
向下 | 87° | ||
探針針尖 | 半徑 | 25μm | |
材料 | 硬質(zhì)合金針尖 | ||
基座尺寸(WxH) | 750x600mm(CV-2000) | ||
基座材料 | 花崗巖(CV-2000) | ||
重量 | 主機 | 5kg(CV-10000N2)、115.8kg(CV-2000M4)、124kg(CV-2000S4) | |
控制裝置 | 14kg | ||
遙控箱 | 0.9kg | ||
電源 | 100-240VAC±10% 50/60Hz | ||
能耗 | 150W僅限主機 |
型號CV-3200S4 CV-3200H4 CV-3200W4 CV-3200S8 CV-3200H8 CV-3200W8CV-4500S4 CV-4500H4 CV-4500W4 CV-4500S8 CV-4500H8 CV-4500W8測量范圍X 軸100mm 200mmZ1 軸(檢測部) 60mm (水平位置±30mm)Z2 軸(立柱) 移動量300mm 500mm 300mm 500mm檢測器(Z1 軸 : 檢測器)測量單元圓弧光柵尺分辨率 CV-3200 系列 : 0.04 μm、CV-4500 系列 : 0.02 μm測針上/ 下運作弧形移動移動方向向前/ 向后 雙方向測針方向CV-3200 系列 : 向上/ 向下(單獨測量)、CV-4500 系列 : 向上/ 向下(上下可連續(xù)測量)測力CV-3200 系列 : 30mN (根據(jù)配重調(diào)整)、CV-4500 系列 : 10,20,30,40,50mN (根據(jù)軟件轉(zhuǎn)換)跟蹤角度向上77o、向下83o(根據(jù)表面粗糙度*1 使用標(biāo)準(zhǔn)單切面測針)驅(qū)動部標(biāo)尺X 軸 激光全息光柵尺Z2 軸(立柱) ABS 光柵尺分辨率X 軸 0.05 μmZ2 軸(立柱) 1 μm驅(qū)動速度X 軸0 ~ 80mm/s 外加手動Z2 軸(立柱) 0 ~ 30mm/s 外加手動測量速度X 軸 0.02 ~ 5mm/s直線度*2 X 軸 0.8 μm/100mm 2 μm/200mm傾角范圍X 軸 ±45o指示精度(20oC)CV-3200系列X 軸 ±(0.8+0.01L)μm L 驅(qū)動長度(mm)寬范圍 : 1.8 μm/100mm窄范圍 : 1.05 μm/25mm ±(0.8+0.02L)μm L 驅(qū)動長度(mm)寬范圍 : 4.8 μm/200mm窄范圍 : 1.3 μm/25mm Z1 軸(檢測部) ±(1.6+ ?? 2H ?? /100)μm H= 為水平位置上的測量高度(mm)CV-4500系列X 軸 ±(0.8=0.01L)μm L 驅(qū)動長度(mm)寬范圍 : 1.8 μm/100mm窄范圍 : 1.05 μm/25mm ±(0.8=0.02L)μm L 驅(qū)動長度(mm)寬范圍 : 4.8 μm/200mm窄范圍 : 1.3 μm/25mm Z1 軸(檢測部) ±(0.8+ ?? 2H ?? /100)μm H= 為水平位置上的測量高度(mm)外觀尺寸(W×D×H)主機*3 756×482×966 mm756×482×1166 mm1156×482×1176 mm766×482×966 mm766×482×1166 mm1166×482×1176 mm遙控箱221×344×490 mm遙控箱 248×102×62.2 mm重量主機140kg 150kg 220kg 140kg 150kg 220kg遙控箱14kg遙控箱 0.9kg使用溫度范圍15 ~ 25oC (校正時和測量時的溫度變化在±1o)使用濕度范圍20 ~ 80%RH (無凝結(jié)狀態(tài))保存溫度范圍-10 ~ 50oC保存濕度范圍5 ~ 90%RH (無凝結(jié)狀態(tài))*1
型號CV-3200S4 CV-3200H4 CV-3200W4 CV-3200S8 CV-3200H8 CV-3200W8CV-4500S4 CV-4500H4 CV-4500W4 CV-4500S8 CV-4500H8 CV-4500W8測量范圍X 軸100mm 200mmZ1 軸(檢測部) 60mm (水平位置±30mm)Z2 軸(立柱) 移動量300mm 500mm 300mm 500mm檢測器(Z1 軸 : 檢測器)測量單元圓弧光柵尺分辨率 CV-3200 系列 : 0.04 μm、CV-4500 系列 : 0.02 μm測針上/ 下運作弧形移動移動方向向前/ 向后 雙方向測針方向CV-3200 系列 : 向上/ 向下(單獨測量)、CV-4500 系列 : 向上/ 向下(上下可連續(xù)測量)測力CV-3200 系列 : 30mN (根據(jù)配重調(diào)整)、CV-4500 系列 : 10,20,30,40,50mN (根據(jù)軟件轉(zhuǎn)換)跟蹤角度向上77o、向下83o(根據(jù)表面粗糙度*1 使用標(biāo)準(zhǔn)單切面測針)驅(qū)動部標(biāo)尺X 軸 激光全息光柵尺Z2 軸(立柱) ABS 光柵尺分辨率X 軸 0.05 μmZ2 軸(立柱) 1 μm驅(qū)動速度X 軸0 ~ 80mm/s 外加手動Z2 軸(立柱) 0 ~ 30mm/s 外加手動測量速度X 軸 0.02 ~ 5mm/s直線度*2 X 軸 0.8 μm/100mm 2 μm/200mm傾角范圍X 軸 ±45o指示精度(20oC)CV-3200系列X 軸 ±(0.8+0.01L)μm L 驅(qū)動長度(mm)寬范圍 : 1.8 μm/100mm窄范圍 : 1.05 μm/25mm ±(0.8+0.02L)μm L 驅(qū)動長度(mm)寬范圍 : 4.8 μm/200mm窄范圍 : 1.3 μm/25mm Z1 軸(檢測部) ±(1.6+ ?? 2H ?? /100)μm H= 為水平位置上的測量高度(mm)CV-4500系列X 軸 ±(0.8=0.01L)μm L 驅(qū)動長度(mm)寬范圍 : 1.8 μm/100mm窄范圍 : 1.05 μm/25mm ±(0.8=0.02L)μm L 驅(qū)動長度(mm)寬范圍 : 4.8 μm/200mm窄范圍 : 1.3 μm/25mm Z1 軸(檢測部) ±(0.8+ ?? 2H ?? /100)μm H= 為水平位置上的測量高度(mm)外觀尺寸(W×D×H)主機*3 756×482×966 mm756×482×1166 mm1156×482×1176 mm766×482×966 mm766×482×1166 mm1166×482×1176 mm遙控箱221×344×490 mm遙控箱 248×102×62.2 mm重量主機140kg 150kg 220kg 140kg 150kg 220kg遙控箱14kg遙控箱 0.9kg使用溫度范圍15 ~ 25oC (校正時和測量時的溫度變化在±1o)使用濕度范圍20 ~ 80%RH (無凝結(jié)狀態(tài))保存溫度范圍-10 ~ 50oC保存濕度范圍5 ~ 90%RH (無凝結(jié)狀態(tài))*1
三豐輪廓儀CV-1000技術(shù)參數(shù)
X1軸
測量范圍: 50mm
分辨率: 0.2μm
測量方法:反射型光柵尺
驅(qū)動速度: 0.2, 1mm/s和手動
測量速度: 0.2, 0.5mm/s
測量方向:向后
直線度: 3.5μm/50mm , *當(dāng)X軸在水平方向上
指示精度:±(3.5+2L/100)μm * L為驅(qū)動長度(mm)
Z1軸(檢測器)
測量范圍: 25mm
分辨率: 0.4μm
測量方法:弧形編碼器
指示精度:±(3.5+I4HI/25)μm (20°C時) *H為水平位置上的測量高度(mm)
探針上/下運作:弧形運動
探針方向:向下
測力: 10 - 30mN
跟蹤角度:向上:77°、向下:87°(根據(jù)表面粗糙度,使用標(biāo)準(zhǔn)單切面探針)
探針針尖半徑: 25μm、硬質(zhì)合金針尖
重量: 5kg
電源: 100 - 240VAC±10%, 50/60Hz
能耗: 150W (主機)
型號CV-3200S4 CV-3200H4 CV-3200W4 CV-3200S8 CV-3200H8 CV-3200W8CV-4500S4 CV-4500H4 CV-4500W4 CV-4500S8 CV-4500H8 CV-4500W8測量范圍X 軸100mm 200mmZ1 軸(檢測部) 60mm (水平位置±30mm)Z2 軸(立柱) 移動量300mm 500mm 300mm 500mm檢測器(Z1 軸 : 檢測器)測量單元圓弧光柵尺分辨率 CV-3200 系列 : 0.04 μm、CV-4500 系列 : 0.02 μm測針上/ 下運作弧形移動移動方向向前/ 向后 雙方向測針方向CV-3200 系列 : 向上/ 向下(單獨測量)、CV-4500 系列 : 向上/ 向下(上下可連續(xù)測量)測力CV-3200 系列 : 30mN (根據(jù)配重調(diào)整)、CV-4500 系列 : 10,20,30,40,50mN (根據(jù)軟件轉(zhuǎn)換)跟蹤角度向上77o、向下83o(根據(jù)表面粗糙度*1 使用標(biāo)準(zhǔn)單切面測針)驅(qū)動部標(biāo)尺X 軸 激光全息光柵尺Z2 軸(立柱) ABS 光柵尺分辨率X 軸 0.05 μmZ2 軸(立柱) 1 μm驅(qū)動速度X 軸0 ~ 80mm/s 外加手動Z2 軸(立柱) 0 ~ 30mm/s 外加手動測量速度X 軸 0.02 ~ 5mm/s直線度*2 X 軸 0.8 μm/100mm 2 μm/200mm傾角范圍X 軸 ±45o指示精度(20oC)CV-3200系列X 軸 ±(0.8+0.01L)μm L 驅(qū)動長度(mm)寬范圍 : 1.8 μm/100mm窄范圍 : 1.05 μm/25mm ±(0.8+0.02L)μm L 驅(qū)動長度(mm)寬范圍 : 4.8 μm/200mm窄范圍 : 1.3 μm/25mm Z1 軸(檢測部) ±(1.6+ ?? 2H ?? /100)μm H= 為水平位置上的測量高度(mm)CV-4500系列X 軸 ±(0.8=0.01L)μm L 驅(qū)動長度(mm)寬范圍 : 1.8 μm/100mm窄范圍 : 1.05 μm/25mm ±(0.8=0.02L)μm L 驅(qū)動長度(mm)寬范圍 : 4.8 μm/200mm窄范圍 : 1.3 μm/25mm Z1 軸(檢測部) ±(0.8+ ?? 2H ?? /100)μm H= 為水平位置上的測量高度(mm)外觀尺寸(W×D×H)主機*3 756×482×966 mm756×482×1166 mm1156×482×1176 mm766×482×966 mm766×482×1166 mm1166×482×1176 mm遙控箱221×344×490 mm遙控箱 248×102×62.2 mm重量主機140kg 150kg 220kg 140kg 150kg 220kg遙控箱14kg遙控箱 0.9kg使用溫度范圍15 ~ 25oC (校正時和測量時的溫度變化在±1o)使用濕度范圍20 ~ 80%RH (無凝結(jié)狀態(tài))保存溫度范圍-10 ~ 50oC保存濕度范圍5 ~ 90%RH (無凝結(jié)狀態(tài))*1