BSJM-J228/150精密傳感器
1. RHM0250MD601A01 代表RH 系列, M18X1.5 螺紋, 250mm 行程公制, D60插頭, 4-20mA輸出
2. RHM0250MP021V01 代表RH 系列, M18X1.5 螺紋, 250mm 行程公制, 02米電纜, 0-10VDC輸出3. LHMD600M06501A0 代表LH 系列, M18X1.5 螺紋, D60插頭, 公制, 650mm 行程, 4-20mA輸出4. LHMR002M06501V0 代表LH 系列, M18X1.5 螺紋, 02米電纜, 公制, 650mm 行程, 0-10VDC輸出5. EPS0500MD601A0 代表EP 系列, 滑塊磁鐵, 500mm 行程公制,D60插頭, 4-20mA輸出6. LPRLAM03001 代表LP 系列, 推拉桿, 7呎電纜, 4-20mA輸出, 公制行程300mm, 24V輸入7. TTMRBM1500DE010 代表TT 系列, M18X1.5 螺紋, RB插頭, 公制,1500mm 行程, 數(shù)字輸出每秒10次8. TTSROU0240AS1B 代表TT 系列, 3/4”-16UNF 螺紋, 5呎電纜, 英制, 24吋行程, 模擬輸出0-10VDC 平衡模式9. GHM0250MD601A01 代表GH 系列, M18X1.5 螺紋, 250mm 行程公制, D60插頭, 4-20mA輸出10. GHM0250MR021R01 代表GH 系列, M18X1.5 螺紋, 250mm 行程公制, 02米電纜, RS422(開(kāi)始/停止)數(shù)字脈沖輸出
選項(xiàng)配件1. 磁環(huán):13.5(內(nèi))X32.8(外)X7.9(厚), 型號(hào):2015422. 墊片:14.3(內(nèi))X31.8(外)X3.2(厚), 型號(hào):4006333. 插頭:D60, D62, D63, D70, RG, RB, MS4. 電纜:5呎, 15呎, 25呎, 50呎, 100呎, 2米, 5米, 10米, 15米, 30米或自定長(zhǎng)度5. 模擬輸出介面AK288, 數(shù)字輸出介面MK292, 串聯(lián)同步介面SSI-1016
Huace HT-11高低溫真空探針臺(tái)
高低溫真空探針臺(tái)
探針臺(tái)是一種輔助執(zhí)行機(jī)構(gòu),測(cè)試人員把需要量測(cè)的器件放到探針臺(tái)載物臺(tái)(chuck)上,在顯微鏡配合下,X-Y移動(dòng)器件,找到需要探測(cè)的位置。接下來(lái)測(cè)試人員通過(guò)旋轉(zhuǎn)探針座上的X-Y-Z的三向旋鈕,控制部探針(射頻或直流探針),精準(zhǔn)扎到被測(cè)點(diǎn),從而使其訊號(hào)線與外部測(cè)試機(jī)導(dǎo)通,通過(guò)測(cè)試機(jī)測(cè)試人員可以得到所需要的電性能參數(shù)。
低溫測(cè)試
因?yàn)榫A在低溫大氣環(huán)境測(cè)試時(shí),空氣中的水汽會(huì)凝結(jié)在晶圓上,會(huì)導(dǎo)致漏電過(guò)大或者探針無(wú)法接觸電而使測(cè)試失敗。避免這些需要把真空腔內(nèi)的水汽在測(cè)試用泵抽走,并且保持整個(gè)測(cè)試過(guò)程泵的運(yùn)轉(zhuǎn)。
高溫?zé)o氧化測(cè)試
當(dāng)晶圓加熱至300℃,400℃,500℃甚至更高溫度時(shí),氧化現(xiàn)象會(huì)越來(lái)越明顯,并且溫度越高氧化越嚴(yán)重。過(guò)度氧化會(huì)導(dǎo)致晶圓電性誤差,物理和機(jī)械形變。避免這些需要把真空腔內(nèi)的氧氣在測(cè)試用泵抽走,并且保持整個(gè)測(cè)試過(guò)程泵的運(yùn)轉(zhuǎn)。 晶圓測(cè)試過(guò)程中溫度在低溫和高溫中變換,因?yàn)闊崦浝淇s現(xiàn)象,定位好的探針與器件電間會(huì)有相對(duì)位移,這時(shí)需要針座的重新定位,針座位于腔體外部。我們也可以選擇使用操作桿控制的自動(dòng)化針座來(lái)調(diào)整探針的位置。
產(chǎn)品特點(diǎn):◆2~6英寸樣品臺(tái);
◆ 高真空腔體;
◆ 防輻射屏設(shè)計(jì),樣品溫度均勻性**;
◆ 77K-675K高低溫環(huán)境;
◆ 兼容IV/CV/RF測(cè)試;
◆ 外置多探針臂,移動(dòng)行程大;
◆ 經(jīng)濟(jì)實(shí)用,可無(wú)縫升。
臺(tái)體參數(shù):
尺寸:2英寸/4英寸/6英寸;
水平旋轉(zhuǎn):可360°旋轉(zhuǎn),可微調(diào)15°,精度0.1°,帶角度鎖死裝置;
樣品固定:彈簧壓片;觀察窗口:2英寸/4英寸/6英寸;真空度:10^-6torr ;
探針臂接口:4~6個(gè)探針臂接口;
其他接口:電信接口、真空接口、光纖接口、冷源接口;
制冷方式:液氮/液氦/制冷機(jī);
溫度范圍:77K-573K/4.5K-573K;
溫控精度:0.1K/0.01K/0.001K;
穩(wěn)定性:±1K/±0.1K/±0.01K;
尺寸:880mm長(zhǎng)*880mm寬*600mm高/980mm長(zhǎng)*980mm寬*600mm高;
設(shè)備重量:約100/120KG;
可選附件
超高溫配件;顯示器;轉(zhuǎn)接頭;射頻測(cè)試配件;
屏蔽箱;
光學(xué)平臺(tái);鍍金卡盤;光電測(cè)試配件;
高壓測(cè)試配件;
分子泵組;
激光系統(tǒng);
氣敏測(cè)試配件;
光學(xué)系統(tǒng)顯微鏡類型:?jiǎn)瓮诧@微鏡/體式顯微鏡/金相顯微鏡;放大倍率:16X-200X/20X-4000X;移動(dòng)行程:水平360°旋轉(zhuǎn),Z軸行程50.8mm;光源:外置LED環(huán)形光源/同軸光源;CCD:200萬(wàn)像素/500萬(wàn)像素/1200萬(wàn)像素;
定位器X-Y-Z移動(dòng)行程:50mm*50mm*50mm;
結(jié)構(gòu):外置探針臂,真空波紋管結(jié)構(gòu);移動(dòng)精度:10μm/1μm;線纜:同軸線/三軸線/射頻線;
漏電精度:10pA/100fA/10fA;
固定探針:彈簧固定/管狀固定;接頭類型:BNC/三軸/香蕉頭/鱷魚(yú)夾/接線端子;
頻率支持:DC-67GHZ ;
針尖直徑:0.5μm/1μm/2μm/5μm/10μm/20μm;
其他組件:真空組件:分子泵組/機(jī)械泵/離子泵;
冷源組件:50L/100L液氮罐/液氦罐/制冷機(jī);