CYG400高頻動(dòng)態(tài)壓力傳感器
產(chǎn)品綜述:
在軍事工程、化爆試驗(yàn)、石油勘采與試井、材料、力學(xué)、土木工程學(xué)、巖土力學(xué)、創(chuàng)傷醫(yī)學(xué)、液壓動(dòng)力機(jī)械試驗(yàn)等科學(xué)試驗(yàn)與現(xiàn)代化儀器儀表中,需要不失真地測(cè)量一些變化頻率高、壓力波形上升快陡的動(dòng)態(tài)壓力波形與幅值、值,這就要求所用壓力傳感器具有高的固有頻率、極短的上升時(shí)間和寬廣優(yōu)良的響應(yīng)頻帶,以足夠的動(dòng)態(tài)測(cè)壓精度,本系列產(chǎn)品即是為此設(shè)計(jì)開(kāi)發(fā)的,它利用微機(jī)械加工技術(shù)使得集成硅膜片尺寸小,固有頻率高;有優(yōu)良的彈性力學(xué)特性,綜合性能優(yōu)于壓電動(dòng)態(tài)壓力傳感器,是動(dòng)態(tài)測(cè)壓的。
產(chǎn)品型號(hào):
一、CYG401型(高頻壓力傳感器)
1、特 點(diǎn):采用感壓膜片齊平封裝設(shè)計(jì),消除管腔效應(yīng),因而傳感器頻響極高。
2、量程及動(dòng)態(tài)特性:
量 程 MPa | 1 | 2 | 4 | 6 | 10 | 20 | 40 | 60 | 100 |
固有頻率 KHz | 180 | 240 | 320 | 250 | 320 | 450 | 600 | 800 | 1000 |
上升時(shí)間 μs | 1 | 1 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.3 | 0.3 | 0.2 | 0.2 |
3、工作介質(zhì)溫度: -40℃~105℃,特殊措施下可耐瞬時(shí)超高溫2000℃/20ms
4、補(bǔ) 償 溫 度: J級(jí)-10℃~60℃;M級(jí)0℃~50℃。亦可按用戶要求特訂。
5、抗 光 敏 感: J級(jí)可加強(qiáng)抗紅外及可見(jiàn)光;M級(jí)抗可見(jiàn)光
6、精 度 檔 級(jí):
指標(biāo) 檔級(jí) | 零點(diǎn)時(shí)漂 mv/8h | 零位溫度系數(shù) ×10-4/℃.FS | 靈敏度溫度系數(shù) ×10-4/℃.FS | 非線性 ±%FS | 不重復(fù)性、遲滯 %FS |
JA | 0.1 | 3 | 3 | 0.5 | 0.3 |
JB | 0.1 | 1 | 1 | 0.2 | 0.1 |
MA | 0.2 | 5 | 5 | 0.5 | 0.3 |
MB | 0.15 | 3 | 3 | 0.2 | 0.2 |
1、特 點(diǎn):本產(chǎn)品為國(guó)家攻關(guān)項(xiàng)目,采用耐高溫S0I型感壓膜片齊平封裝設(shè)計(jì),消除管腔效應(yīng)。
2、量程及動(dòng)態(tài)特性:
量 程 MPa | 6 | 10 | 20 | 40 | 60 | 100 |
固有頻率 KHz | 250 | 320 | 450 | 600 | 800 | 1000 |
上升時(shí)間 μs | 0.5 | 0.5 | 0.3 | 0.3 | 0.2 | 0.2 |
3、工作介質(zhì)溫度:-40℃~200℃,特殊措施下可耐瞬時(shí)超高溫2000℃/100ms
4、補(bǔ) 償 溫 度:-10℃~150℃,亦可按用戶要求特訂
5、抗 光 敏 感:抗紅外及可見(jiàn)光
6、精 度 檔 級(jí):
指標(biāo) 檔級(jí) | 零點(diǎn)時(shí)漂 mv/8h | 零位溫度系數(shù) ×10-4/℃.FS | 靈敏度溫度系數(shù) ×10-4/℃.FS | 非線性 ±%FS | 不重復(fù)性、遲滯 %FS |
JA | 0.1 | 5 | 5 | 0.5 | 0.2 |
JB | 0.1 | 1 | 1 | 0.2 | 0.1 |
三、CYG404型(特種高溫動(dòng)態(tài)壓力傳感器)
特 點(diǎn):本產(chǎn)品為特殊設(shè)計(jì)專用產(chǎn)品,國(guó)家863成果,采用耐高溫SOI力敏元件,及特殊結(jié)構(gòu)設(shè) 計(jì),
從而傳感器仍有較高頻響的同時(shí),具有耐平衡高溫和瞬時(shí)超高溫的能力,需特殊訂貨。
量 程:0~10MPa至0~60MPa全量程覆蓋。
固有頻率:大于20KHz
工作介質(zhì)溫度:耐平衡高溫220℃、瞬時(shí)高溫2000℃/1000ms(或協(xié)商特訂)
四、CYG406型(動(dòng)態(tài)微壓傳感器)
特 點(diǎn):采用微機(jī)械加工微型壓阻力敏芯片,及盡量避免管腔效應(yīng)影響,同時(shí)又具有較好抗光影響及介
質(zhì)導(dǎo)電性影響的準(zhǔn)齊平結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),因而傳感器在低微壓量程有較優(yōu)良的動(dòng)態(tài)頻率特性、靜態(tài)特
性及寬的介質(zhì)適應(yīng)能力
量程及動(dòng)態(tài)特性:
量 程 KPa | 1 | 4 | 10 | 25 | 10 | 250 | 600 |
固有頻率 KHz | >5 | >5 | >20 | >100 | >150 | >300 | >300 |
上升時(shí)間 μs | 5 | 5 | 2 | 1 | 1 | 0.5 | 0.5 |
工作介質(zhì)溫度:-40℃~105℃,特殊措施下可耐瞬時(shí)超高溫2000℃/20ms。
補(bǔ) 償 溫 度:J級(jí)-10℃~60℃;M級(jí)0℃~50℃。亦可按用戶要求特訂。
指標(biāo) 檔級(jí) | 零點(diǎn)時(shí)漂 mv/8h | 零位溫度系數(shù) ×10-4/℃.FS | 靈敏度溫度系數(shù) ×10-4/℃.FS | 非線性 ±%FS | 不重復(fù)性、遲滯 %FS |
JA | 0.15 | 3 | 3 | 0.5 | 0.2 |
JB | 0.1 | 2 | 2 | 0.2 | 0.1 |
MA | 0.3 | 5 | 5 | 0.5(1.0*) | 0.3 |
MB | 0.2 | 3 | 3 | 0.2(0.5*) | 0.2 |
注:*為4MPa以下量程參數(shù)
五、CYG409型(水冷高頻高溫壓力傳感器)
特 點(diǎn):本產(chǎn)品為國(guó)家創(chuàng)新基金項(xiàng)目成果,采用SOI高溫壓阻力敏芯片,齊平封裝,消除管腔效應(yīng),
同時(shí)采用強(qiáng)制水冷結(jié)構(gòu),使得傳感器在高溫工況下仍具有極優(yōu)良的高頻動(dòng)態(tài)特性。
量程及動(dòng)態(tài)特性:
量 程 MPa | 1 | 2 | 4 | 6 | 10 | 20 | 40 | 60 | 100 |
固有頻率 KHz | 180 | 240 | 320 | 250 | 320 | 450 | 600 | 800 | 1000 |
上升時(shí)間 μs | 1 | 1 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.3 | 0.3 | 0.2 | 0.2 |
氣體介質(zhì)溫度:J級(jí)20℃~450℃;M級(jí)20℃~300℃。
供電電源:
傳感器輸出信號(hào)模式的產(chǎn)品,請(qǐng)用恒流源供電,供電電流大小參考產(chǎn)品卡片。無(wú)恒流源使用條件的用戶,可在訂貨時(shí)說(shuō)明恒壓供電電壓,我方可在傳感器中加裝恒流源,建議使用電壓為15VDC或12VDC。
CYG1400高頻動(dòng)態(tài)壓力變送器
各傳感器型號(hào)均可配置下列寬帶信號(hào)處理器,構(gòu)成寬帶動(dòng)態(tài)壓力變送器。傳感器與信號(hào)處理器一體
式結(jié)構(gòu)訂貨代號(hào):YT;分體式結(jié)構(gòu)訂貨代號(hào):FT。凡訂購(gòu)動(dòng)態(tài)壓力變送器在原傳感器型號(hào)三位前加“1”,
例:CYG401高頻動(dòng)態(tài)壓力傳感器,CYG1401 YT高頻動(dòng)態(tài)壓力變送器。
寬帶信號(hào)處理器,按帶寬: 0~20KHz 訂貨代號(hào)MF
0~100KHz 上升時(shí)間1us, 訂貨代號(hào)HF
0~200KHz 上升時(shí)間0.5us, 訂貨代號(hào)UF
寬帶信號(hào)處理器一律要求用戶采用±15V線性電源供電,推薦采用朝陽(yáng)軍用電源。
動(dòng)態(tài)壓力變送器輸出信號(hào)模式:0~5V(可按用戶要求的電壓輸出模式特訂)
注意:動(dòng)態(tài)壓力變送器的寬帶信號(hào)處理器單元只能承受-20℃~100℃溫度,高溫動(dòng)態(tài)壓力變送器使用時(shí)
應(yīng)注意合理使用。
六、CYG1411型(自由場(chǎng)高頻動(dòng)態(tài)壓力變送器)
特 點(diǎn):本系列是專為爆破力學(xué)實(shí)驗(yàn)設(shè)計(jì)的無(wú)反射自由場(chǎng)動(dòng)態(tài)壓力傳感器,采用MEMS壓阻芯片為敏感
元件,因而具有比壓電傳感器更高的固有頻率,快一個(gè)數(shù)量級(jí)的上升時(shí)間,上升時(shí)間亞微秒
量級(jí)1~0.2μs。及從零頻率開(kāi)始的極寬頻帶響應(yīng),且信噪比極好。本產(chǎn)品內(nèi)裝寬帶放大器,
可輸出0~2V或0~5V的信號(hào)。
量 程:0~2MPa至0~60MPa全量程覆蓋
固有頻率:200KHz~1MHz 可用帶寬:0~1/3固有頻率
精度等級(jí):
指標(biāo) 檔級(jí) | 精度等級(jí) %FS | 零位溫度系數(shù) ×10-4/℃.FS | 靈敏度溫度系數(shù) ×10-4/℃.FS | 零位短期時(shí)漂 %FS/24h | 穩(wěn)定性 %FS/1年 |
JA | 1.0 | 5 | 5 | 0.2 | 0.5 |
JB | 0.5 | 3 | 3 | 0.15 | 0.3 |
JC | 0.25 | 1.5 | 1.5 | 0.1 | 0.1 |
產(chǎn)品介紹
壓電式壓力傳感器大多是利用正壓電效應(yīng)制成的。是將壓力轉(zhuǎn)換為電信號(hào)輸出的傳感器,壓力傳感器一般由彈性敏感元件和位移敏感元件(或應(yīng)變計(jì))組成。彈性敏感元件的作用是使被測(cè)壓力作用于某個(gè)面積上并轉(zhuǎn)換為位移或應(yīng)變,然后由位移敏感元件或應(yīng)變計(jì)轉(zhuǎn)換為與壓力成一定關(guān)系的電信號(hào)。正壓電效應(yīng)是指:當(dāng)晶體受到某固定方向外力的作用時(shí),內(nèi)部就產(chǎn)生電極化現(xiàn)象,同時(shí)在某兩個(gè)表面上產(chǎn)生符號(hào)相反的電荷;當(dāng)外力撤去后,晶體又恢復(fù)到不帶電的狀態(tài);當(dāng)外力作用方向改變時(shí),電荷的極性也隨之改變;晶體受力所產(chǎn)生的電荷量與外力的大小成正比。
產(chǎn)品特點(diǎn) 靈敏度高,溫度范圍寬。 應(yīng)用范圍 高頻動(dòng)態(tài)壓力測(cè)量。 技術(shù)指標(biāo)
量程 | 0MPa~2.5MPa,0MPa~4MPa | ||
靈敏度 | (800~1200)pC/MPa | 工作溫度 | -40℃~+125℃ |
過(guò)載能力 | ≤120%F.S | 抗沖擊 | 4500g |
固有頻率 | ≥200kHz | 接口 | 螺紋M12×1 |
上升時(shí)間 | ≤3μs | 探頭直徑 | Φ8×4mm |
非線性 | ≤0.5% | 輸出信號(hào) | L5 |
特點(diǎn) | 靈敏度高、溫度范圍寬 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 高頻動(dòng)態(tài)壓力測(cè)量 |
美國(guó)PCB M132系列超微型高頻響爆炸壓力傳感器:
M132系列超微型高頻響沖擊波/激波/爆炸壓力傳感器 | |||||||||||||||||||
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M132系列高頻響沖擊波/激波/爆炸微型壓力傳感器:
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PCB小型壓力傳感器PCB高頻動(dòng)態(tài)壓力傳感器 (沖擊波/激波/爆炸)
PCB小型壓力傳感器PCB高頻動(dòng)態(tài)壓力傳感器 (沖擊波/激波/爆炸)
測(cè)量范圍 | -100KPa~0~10KPa…200KPa...1MPa...100MPa |
過(guò)載能力 | 2倍滿量程壓力(其中100MPa的產(chǎn)品過(guò)壓為1.1倍滿量程壓力) |
壓力類型 | 表壓、絕壓、負(fù)壓 |
測(cè)量介質(zhì) | 與316不銹鋼兼容的氣體或液體 |
綜合精度 | ±0.1 %FS、±0.25%FS、±0.5%FS、±0.75%FS |
固有頻率 | 150KHz~2MHz |
變送器頻響 | 0~1KHz~200KHz |
上升時(shí)間 | 0~1mS~2μS |
長(zhǎng)期穩(wěn)定性 | 典型:±0.1%FS/年、最大:±0.2%FS/年 |
工作溫度 | -40℃~85℃、特殊可為-10℃~200℃ |
零點(diǎn)溫度漂移 | 典型:±0.02%FS/℃、最大:±0.05%FS/℃ |
靈敏度溫度漂移 | 典型:±0.02%FS/℃、最大:±0.05%FS/℃ |
供電范圍 | 變送器供電:12~36VDC(一般24VDC)、±15VDC開(kāi)關(guān)電源或線性電源 |
傳感器供電:恒流:1mA~4mA;恒壓:5VDC~24VDC | |
信號(hào)輸出 | 變送器輸出:4~20mA、1~5 V DC、0~10VDC、 0~5V DC |
傳感器輸出:1.5mV~15mV/V | |
負(fù)載電阻 | ≤(U-12)/0.02Ω |
分辨率 | 理論上無(wú)限小、通常1/10000 |
絕緣電阻 | 100MΩ,500VDC |
外殼防護(hù) | 電纜線為IP67和接插件連接為IP65 |
振動(dòng)誤差 | ≤±0.01%FS(X、Y、Z軸,200Hz/g) |
接口及殼體 | 不銹鋼1Cr18Ni9Ti |
傳感器膜片 | 不銹鋼316L、硅 |
壓力類型 | 表壓-G、絕壓-A、負(fù)壓-L | |
測(cè)量范圍 | 0~ X KPa、 0~ X MPa、 0~ X 壓力單位 | |
項(xiàng) 目 | 代 碼 | 參 數(shù) |
頻響范圍 | H1 | 0~1KHz~3KHz |
H2 | 0~10KHz~20KHz | |
H3 | 0~100KHz~200KHz | |
綜合精度 | 1 | ±0.25%FS |
2 | ±0.5%FS | |
3 | ±0.75%FS | |
信號(hào)輸出 | E | 4~20mA |
V1 | 0~5VDC | |
V2 | 0~10VDC | |
V3 | 1~5VDC | |
過(guò)程連接 | N1 | M20x1.5 外螺紋 |
N2 | G1/4外螺紋 | |
N3 | G1/2外螺紋 | |
N4 | 客戶定制 | |
電氣連接 | T1 | 赫斯曼插頭 |
T2 | 航空插頭 | |
T3 | 電纜出線 | |
特殊定制 | F1 | 自由場(chǎng)(爆破專用) |
F2 | 平衡溫度200℃,瞬時(shí)可達(dá)2000℃ | |
選型舉例:AE-H-G-(0-1MPa)-H1-2-E-N1-T3 |
測(cè)量范圍 | -100KPa~0~10KPa…200KPa...1MPa...100MPa |
過(guò)載能力 | 2倍滿量程壓力(其中100MPa的產(chǎn)品過(guò)壓為1.1倍滿量程壓力) |
壓力類型 | 表壓、絕壓、負(fù)壓 |
測(cè)量介質(zhì) | 與316不銹鋼兼容的氣體或液體 |
綜合精度 | ±0.1 %FS、±0.25%FS、±0.5%FS、±0.75%FS |
固有頻率 | 150KHz~2MHz |
變送器頻響 | 0~1KHz~200KHz |
上升時(shí)間 | 0~1mS~2μS |
長(zhǎng)期穩(wěn)定性 | 典型:±0.1%FS/年、最大:±0.2%FS/年 |
工作溫度 | -40℃~85℃、特殊可為-10℃~200℃ |
零點(diǎn)溫度漂移 | 典型:±0.02%FS/℃、最大:±0.05%FS/℃ |
靈敏度溫度漂移 | 典型:±0.02%FS/℃、最大:±0.05%FS/℃ |
供電范圍 | 變送器供電:12~36VDC(一般24VDC)、±15VDC開(kāi)關(guān)電源或線性電源 |
傳感器供電:恒流:1mA~4mA;恒壓:5VDC~24VDC | |
信號(hào)輸出 | 變送器輸出:4~20mA、1~5 V DC、0~10VDC、 0~5V DC |
傳感器輸出:1.5mV~15mV/V | |
負(fù)載電阻 | ≤(U-12)/0.02Ω |
分辨率 | 理論上無(wú)限小、通常1/10000 |
絕緣電阻 | 100MΩ,500VDC |
外殼防護(hù) | 電纜線為IP67和接插件連接為IP65 |
振動(dòng)誤差 | ≤±0.01%FS(X、Y、Z軸,200Hz/g) |
接口及殼體 | 不銹鋼1Cr18Ni9Ti |
傳感器膜片 | 不銹鋼316L、硅 |
壓力類型 | 表壓-G、絕壓-A、負(fù)壓-L | |
測(cè)量范圍 | 0~ X KPa、 0~ X MPa、 0~ X 壓力單位 | |
項(xiàng) 目 | 代 碼 | 參 數(shù) |
頻響范圍 | H1 | 0~1KHz~3KHz |
H2 | 0~10KHz~20KHz | |
H3 | 0~100KHz~200KHz | |
綜合精度 | 1 | ±0.25%FS |
2 | ±0.5%FS | |
3 | ±0.75%FS | |
信號(hào)輸出 | E | 4~20mA |
V1 | 0~5VDC | |
V2 | 0~10VDC | |
V3 | 1~5VDC | |
過(guò)程連接 | N1 | M20x1.5 外螺紋 |
N2 | G1/4外螺紋 | |
N3 | G1/2外螺紋 | |
N4 | 客戶定制 | |
電氣連接 | T1 | 赫斯曼插頭 |
T2 | 航空插頭 | |
T3 | 電纜出線 | |
特殊定制 | F1 | 自由場(chǎng)(爆破專用) |
F2 | 平衡溫度200℃,瞬時(shí)可達(dá)2000℃ | |
選型舉例:AE-H-G-(0-1MPa)-H1-2-E-N1-T3 |