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硅藍(lán)寶石壓力傳感器主要用于制造變送器。其中包括絕對壓力、表壓、差壓、流量變送器,也用于控制和調(diào)節(jié)系統(tǒng),廣泛用于礦山、采煉油、供水、供氣、汽車、飛機(jī)、航天等領(lǐng)域。
原理是基于硅的應(yīng)變電阻效應(yīng)。在藍(lán)寶石襯底上硅敏感元件構(gòu)成靈敏的應(yīng)變計(jì)電路由4個(gè)的敏感應(yīng)變計(jì)的惠斯登電橋。藍(lán)寶石膜片與高彈性合金膜片固封為一體,流體壓力作用于這種一體的雙膜結(jié)構(gòu)使電阻應(yīng)變計(jì)變化,并將這種變化轉(zhuǎn)換為電信號。采用微電子加工方法做成的這種雙膜結(jié)構(gòu),便于重復(fù)性和性(壓力不泄漏)。藍(lán)寶石膜片與金屬膜片是在高真空下,用靜電或其它分子鍵合方法封接為一體的,了在很寬的溫區(qū)內(nèi)具有很小的機(jī)械滯后(0.05%)和使傳感器具有穩(wěn)定性(在大信號輸出情況下<0.1%/6個(gè)月)。
特點(diǎn): 應(yīng)用場合:
1、高精度,高穩(wěn)定性 1.工業(yè)現(xiàn)場過程壓力控制
2、適用于高溫液體和氣體的壓力測量 2.航空航天領(lǐng)域
3、抗振動(dòng)、抗沖擊能力強(qiáng) 3.航海及造船行業(yè)
4、全鈦合金材質(zhì),耐腐性強(qiáng) 4.石油、化工行業(yè)
5、靈敏度輸出高、高阻抗低功耗 5.制藥、食品設(shè)備設(shè)備
6、帶壓力接口,更易于使用 6.油田深井壓力測量
7.科研實(shí)驗(yàn)設(shè)備